拓荆科技获得发明专利授权：“一种基片处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基片处理装置”，专利申请号为CN202111528278.2，授权日为2025年4月22日。

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专利摘要：本发明提供了一种基片处理装置，其特征在于，包括：真空锁定舱组，用于容纳基片；所述真空锁定舱组设有一个或若干个基片；工艺舱组，用于对所述基片加工处理；传输舱，位于所述真空锁定舱组和所述工艺舱之间；所述传输舱设有第一传输机构和第二传输机构；所述第一传输机构和所述第二传输机构均用于装载所述真空锁定舱组中的所述基片，并移动所述基片。该基片处理装置用于在其中一个传输机构损坏或定期维护时也能继续传输基片，避免生产中断，有助于提升产能。

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今年以来拓荆科技新获得专利授权10个，较去年同期增加了150%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3.14亿元，同比增49.61%。

数据来源：天眼查APP

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